1812年12月18日,拿破仑回到巴黎,他意识到欧洲将有一次更大规模的反法战争。于是,他不敢耽搁,立即着手征兵,30万人的大军迅速成型。与此同时,亚历山大一世也在游说普鲁士和奥地利加入反法同盟,以图一举打败喘息未定的拿破仑。1813年2月7日,俄军进入华沙。不久后,在英国的积极组织下,俄国、普鲁士、英国和瑞典等国走到一起,组成第六次反法同盟。奥地利方面暂时保持中立,实则静观战机,相时而动。
1813年8月27日,拿破仑与反法同盟军进行了德累斯顿会战。法军损失逾万,联军也伤亡近2万人。莫罗将军被炮弹炸断双腿,几日后不治死去。拿破仑越发地意识到现在的法军作战力大不如前,而且,部队中那些来自附属国的士兵每天都在叛逃。战事一天天吃紧,那些附属国尤其是德意志的人民也在加紧筹划复国运动。眼下,元帅们统领的各部也经常被联军打得溃不成军。拿破仑清楚,必须尽快与联军决战。
10月16日,莱比锡会战爆发。这次战役堪称拿破仑各大战役之最,共进行了三天。拿破仑的15万人对抗联军的23万人,不过,这两个数字在这三天内变化快得令人吃惊。第一天,15万锐减至12万,23万也减少了4万。第二天,这两个数字各有变化,但拿破仑盼到的援军仅为1.5万人,而联军却等到了11万之众的增援部队。当然接下来联军的数量还在猛增,而拿破仑军队中的萨克森军团竟然在10月18日的战斗中调转炮口向法军开火。更让拿破仑痛苦的是,弹药供给越来越少了,法军的大炮眼看要“断粮”了。当晚,拿破仑下令法军且战且退向莱茵河。在撤退途中,法军又遭联军重创,至19日法军共伤亡6.5万人,等到拿破仑于11月2日来到法国边境的梅因兹时,他的队伍中除了伤病员外只有不过4万人。11月9日,元气大伤的拿破仑回到巴黎。
莱比锡一战,拿破仑在欧洲大陆不再具有战略主动权,他将要进行的1814年战争不得不转入本土防御。回到巴黎的拿破仑又面临着其他更大的压力。缪拉离开了他,回到那不勒斯管理他的国家去了,实际上这等同于抽离了法军力量转而送给了反法同盟。达武元帅的军队被俄普联军困在了汉堡;拿破仑的哥哥约瑟夫被赶出了西班牙;弟弟热罗姆作为拿破仑亲封的威斯特法利亚国王,也被赶出了首都卡塞尔。拿破仑知道自己必须再征一支军队,而且必须尽快。因为,反法同盟军已于1814年1月1日陆续渡过莱茵河,正向拿破仑家门口扑来。
拿破仑审时度势,决定采取集中优势兵力各个击破的方法对付来势汹汹的联军,争取从局部胜利反攻至全线胜利。当拿破仑把法军主力部署在夏龙附近的马恩河湾后面时,1月25日,他命令法军向普鲁士军队发动猛攻。经过几天的战斗,法军大败普军,但拿破仑的初衷并未达到。正在他准备对反法同盟做出让步时,他突然发现敌军犯了战略部署错误,敌军竟然开始分头行动。这让拿破仑大喜,他立即率部各个歼灭孤立的同盟军。从2月7日一直到2月22日,拿破仑每战必胜,他简直忙得团团转。法军的连连得手让同盟军提出和谈,在肖蒙举行的谈判中,拿破仑坚持帝国领土的完整,这与同盟军的要求相背,谈判无果而终。不过,3月1日,俄国、奥地利、普鲁士和英国却成功签订了一项攻守同盟条约。依据条约,缔约各国不得单独与拿破仑议和,除英国负责提供作战经费外,其余各国均需提供15万军队对法作战。此外,四国还就法兰西帝国的领土归属以及战后欧洲格局等问题进行了密谈。这一条约的达成,令反法同盟各国空前团结,这无疑加速了拿破仑帝国的灭亡。
虽然法军取得了一系列局部胜利,但面对强大的同盟军,拿破仑已是回天乏术。同盟军这时候开始改变战术,他们用一支军队牢牢牵制住拿破仑所部,然后着力进攻拿破仑的元帅和将军们。这一招果然奏效,3月30日,马尔蒙特部被同盟军围困而投降。法军其他各部也与拿破仑分割开来,拿破仑所部苦追敌军却不料竟给敌军让出了通往巴黎的路途。
就在马尔蒙特率部投降的第二天,反法同盟军进入巴黎。在同盟军的支持下,普罗旺斯公爵登上法国王位,号称路易十八。4月2日,法国元老院宣布拿破仑退位。4月20日,拿破仑在枫丹白露宫与自己的近卫军告别后,动身前往厄尔巴岛。